宽带厚胶SU-8GM1010

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类型光刻胶型号适用光谱厚度范围/um分辨率适用工艺
宽带厚胶SU-8 10系列g/h/i-Line0.1-2000.5um负性环氧类化学放大光刻胶,具有高深宽比,光刻后可以达到非常好的陡直度.
导电SU-8(GCM3060)1-50负性环氧类光刻胶;可导电、粘合性较好,图层应力降低
SPR220g/h/i-Line1—301um正性光刻胶,用于MEMS和Bump工艺
NR26-25000Pg/h/i-Line20-130
负性光刻胶,适用于各类接触式光刻机(mask aligner)、stepper、scanner
AZ P4620g/h/i-Line6—201um正性光刻胶


SU-8规格(常年现货供应)

型号

GM1010

GM1020

GM1030

GM1040

GM1050

GM1060

GM1070

GM1075

厚度/um
   
(5000-1000rpm)

< 0.2

< 0.5

< 1.5

0.8-3.2

2.2-8.4

5-27

15-92

50-192


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