旋片式真空泵是真空技术中基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片式真空泵有单级和双级两种。所谓双级,就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的,以获得较高的真空度。
旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子,转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙),转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时,靠离心力和弹簧的张力使旋片与泵腔的内壁保持接触,转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。
X型旋片式真空泵系单级旋片式真空泵,国内的能抽除大量水蒸气的新产品,由于泵本身带有油再生装置和可靠的气镇装置,延长了泵油的使用寿命。X型旋片式真空泵用来对密封容器抽除气体所获得真空的基本设备,适用于电子器件制造,真空干燥、过滤、浸渍、涂膜、焊接、冶炼及实验室装备等(工艺品泵)。它可单使用,也可作为增压泵、扩散泵的前级泵使用,但不适用于自一容器抽至另一容器作输送泵用。当抽除含氧过高的、有爆炸性的、对黑色金属有腐蚀性的、对真空油起化学反应的有水的、有灰埃的等等气体时,应加附设装置。主要型号有:X-100型单级旋片式真空泵、X-150型单级旋片真空泵