郑科探微型探针台

掌上真空探针台，一体式不锈钢腔体，手动调节探针，正面留有观察窗，反面留有透光孔。高低温配置
KT-Z4019MRL4T是一款便携式探针台，结构小巧，功能使用，成本较低，可以满足基本实验的要求。特别之处在于显微镜和探针台采用分体结构，使得探针部分能从整个探针台系统中立出来，可以应用于辐照实验中，该探针台也可放置高低温箱中，用于芯片的三温测试。多探针结构可实现多路测试。配合接地良好的铝制屏蔽盒，增加了抗干,扰,能力，其测试数据更加准确。

掌上真空探针台KT-Z4019MRL4T
真空腔体
类型 高温型室温到350℃ 高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃
腔体材质 304不锈钢 6061铝合金 可选
腔体内尺寸 127mmX57mmX20mm
腔体外尺寸 150mmX80mmX32mm
腔体重量 不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG
腔体上视窗尺寸 Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）
腔体抽气口 KF16法兰（其余接口规格可转接）
腔体真空测量口 KF16法兰（其余接口规格可转接）
腔体进气口 6mm快拧 或 6mm快插
腔体冷却方式 腔体水冷+上盖气冷
腔体水冷接口
腔体正压 ≤0.05MPa
腔体真空度 机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）
样品台
样品台材质 不锈钢 银铜合金 纯银块 银铜合金 纯银块
样品台尺寸 26x26mm
样品台加热方式 电阻加热 电阻加热 液氮制冷
样品台-视窗 距离 11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）
样品台测温传感器 PT100型热电阻
样品台温度 室温到400℃ 室温到400℃ 室温到-196℃
样品台测温误差 ±0.5℃
样品台升温速率 高温100℃/min 低温7℃/min
温控仪
温度显示 7寸人机界面
温控类型 标准PID温控 +自整定
温度分辨率 0.1℃
温控精度 ±0.5℃
温度信号输入类型 PT100 （可选K S B型热电偶）
温控输出 直流线性电源加热 直流线性电源加热+液氮流速控制器
辅助功能 温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口
温控器尺寸 32cmX170cmX380cm
温控器重量 约5.6KG
探针
电信号接头 配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米
电学性能 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA
探针数量 4探针（可扩展5探针）
探针材质 镀金钨针 （其他材质可选）
探针尖 10μm
手动探针移动平台
X轴移动行程 20mm ±10mm（需手动推动滑台）
X轴控制精度 ≥500μm
R轴移动行程 120° ±60°（需手动旋转探针杆）
R轴控制精度 ≥500μm
Z轴移动行程 2mm ±1mm
Z轴控制精度 ≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）