南通ZEISS扫描显微镜市场

扫描电镜图像的形成需要各个系统相互配合，电子光学系统为扫描电镜提供的电子束，信号探测系统将电子束与样品相互作用产生的信号进行采集与处理。电子光学系统内容请参考往期文章，本篇主要对扫描电镜的信号探测系统进行介绍。

指出，复杂氧化物、复杂夹杂物、复杂化合物中用“复杂”来形容D类非金属夹杂物不科学，“复杂”常被用来形容社会科学和人类生活的难易程度，很少用在术语的描述，用他形容这种D类非金属夹杂物的复杂程度即抽象又不确切，不能给出形貌和数据的概念；第二，叫复合夹杂物也值得商榷，“复合”是一种搀和的意思，复合夹杂物是一种混合物的概念，混合物带有机械混合之意，混合物内各组元的分布无规律；第三，叫复杂化合物也不妥，化合物是纯净物，由不同种元素组成的纯净物叫做化合物，并可以用一种化学式表示，而混合物则不是，也没有化学式。

特点
使用多视角成像功能查找样品在成像物镜中的佳位置
在进行样品信息的后期处理前，从不同视角采集信息对整个样品成像
通过重组不同视角的信息来提高图像的分辨率，然后使用特殊的去卷积算法进一步提高图像质量

电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生二次电子、背散射电子、俄歇电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如二次电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象，但习惯上，仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。
有些探测器造价昂贵，比如Robinsons式背散射电子探测器，这时，可以使用二次电子探测器代替，但需要设定一个偏压电场以筛除二次电子。

扫描电镜除能检测二次电子图像以外，还能检测背散射电子、透射电子、特征x射线、阴极发光等信号图像。其成像原理与二次电子像相同。在进行扫描电镜观察前，要对样品作相应的处理。
对样品的要求
1、不会被电子束分解
2、在电子束扫描下热稳定性要好
3、能提供导电和导热通道
4、大小与厚度要适于样品台的安装
5、观察面应该清洁，物
6、进行微区成分分析的表面应平整
7、磁性试样要预先去磁，以免观察时电子束受到磁场的影响

扫描电镜及X射线能谱仪或电子探针为准确鉴定钢中非金属夹杂物属性提供了非常可靠的技术，他可以将D类等非金属夹杂物的二维和三维形貌、与所含元素的X射线元素面分布图、与其内含有元素或所含简单氧化物的重量百分数和原子百分数定量分析结果有机结合起来，对这种D类非金属夹杂物给出一个全新的诠释。由此，作者提出了非金属夹杂物的相结构概念

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