Futurrex负性光刻胶NR21
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Futurrex负性光刻胶NR21

供应商 厦门良厦贸易有限公司 店铺
认证
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规格 其它
结构型式 分立式
显示方式 指针式
关键词 美国Futurrex光刻胶
手机号 15396145919
总监 石金良联系时请一定说明在黄页88网看到
所在地 厦门市湖里区林后社677号之104
更新时间 2024-07-03 14:52:27

详细介绍

厚膜负性光刻胶

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厚膜负性光刻胶 – 删减或添加工艺


删减工艺与模型光刻胶NR5-8000厚度5.8µm - 100.0µm制程小于120度(℃)时,列光刻胶易于在25度(℃)去除



添加工艺光刻胶NR4-8000PNR21-20000P厚度6.0µm - 20.0µm18.0µm - 200µm在100度(℃)时.NR9系列光刻胶有很好的黏附特性,且易于在25度(℃)去除.




·         删减&模型应用

o    硅的深度刻蚀,类如博施工艺(波希法),玻璃及聚合体

o    硅的浮雕模型

·         添加应用

o    用于倒转(装)芯片封装,多芯片组件,微系统,感光芯片,薄膜磁头的高纵横比电镀凸块的制作

·         删减模型的特性

o    的耐温性适用于离子刻蚀及离子铣削制程

o    在深度刻蚀中比正胶有更多的选择性

o    对小于380nm的波长有很好的灵敏度

·         添加应用的特性

o    在电镀制程中有很好的粘附性

o    电镀后用FUTURREX的去胶液易于去除

o    对小于380nm的波长有很好的灵敏度

·         对生产率的影响

o    省去了溶剂显影和溶剂漂洗制程步骤

·         优势

o    良好的线宽控制

o    侧壁的垂直度不随膜后(厚)而变

o    单次旋涂可达到100微米厚度

o    在厚膜应用中有很好的分辨率

o    的光刻速度可以提高曝光效率

o    便于增加功率密度在离子刻蚀/离子铣削制程中,从而提高蚀刻效率

o    单个显影液可适用于正性光刻胶和负性光刻胶

o    无需使用增粘剂


关键词:美国Futurrex光刻胶

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