液环式真空泵:带有多叶片的转子偏心装在泵壳内,当它旋转时,把液体(通常为水或油)抛向泵壳内形成泵壳同心的环液,环液同转子叶片形成了容积周期性变化的几个小容积,故亦称旋转变容真空泵。
真空泵种类 工作压强范围(Pa) 起动压强(Pa)活塞式真空泵 1×105~1.3×102 1×105旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105水环式真空泵 1×105—2.7×103 1×105罗茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105分子筛吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105溅射离子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1钛升华泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10低温泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1