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排气筒与排气口相通。上盘的几个圆孔是除尘区域和排气区域通道。含尘气流未从上盘12 个圆孔排出去之前，实际的气流运动是很复杂的。除切向和轴向运动外还有径向运动。这样含尘气流会反复经过金属网(支撑内、外层金属网的金属杆相互错列，很明显能够增加气流穿过金属网的次数)。前文已详细论过除尘机理,很容易看出惯性碰撞、接触阻留、筛滤作用、扩散在这时将成为除尘的主要作用力。尘粒与气流分离界面是内、外两层金属网(包括上盘在内)。蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，离线装料技术在直拉法硅单晶生产中的应用\引言直拉法(CZ)生产单晶硅是目前制备单晶硅的主要方法。在单晶生产过程中,传统装料方法为炉前装料,即,以人工方式在单晶炉前将固态多晶硅料一块块地从炉体外转移到石英坩埚内,再进行合炉、真空检漏[1]。整个过程非常缓慢,而且装料过程中要避免硅料碎屑落入热场内,装料时间(清炉结束到合炉)约为2h,操作起来较繁琐。此外,装料工工作量不饱和,存在人力浪费现象;在车间内部装料过程中涉及环节较多,硅料的洁净度存在质量隐患,不能确保硅棒的产品质量[2]。随着光伏市场竞争的日趋激烈,追求低成本和率成为每一个企业市场的逐胜之道。

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所述气流导向装置20的中轴孔2-1与该炉的石墨中轴21活 动密封连接，以防止因该中轴孔2-1与石墨中轴21之间的间隙而漏气，影 响排气效果，气流导向装置20的电极孔2-2分别与该炉的电极柱15密封连 接，以防止因该电极孔2-2与电极柱15之间的间隙而漏气，影响排气效果。所述气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的保温 筒17密封连接，以防止因气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的 保温筒17之间的间隙而漏气，影响排气效果。所述气流导向装置20各通气孔2-3与该炉的排气口 13通过通 气管19相连通，以提高排气效果。所述气流导向装置20由石墨制成，石墨具有强度高、抗热震性好、耐 高温、抗氧化、电阻系数小、耐腐蚀、易于精密机加工等优点。