Pfeiffer TMH071P普发涡轮分子泵进气法兰口DN40 ISO-KF,出气法兰口DN16 ISO-KF ,抽速可达到33 L/s,转速为90000rpm,对应的控制器为:Pfeiffer TC100,Pfeiffer TC600等。
Pfeiffer TMH071P/TMU071P普发涡轮分子泵进气法兰口DN63 ISO-KF /DN63 CF-F,出气法兰口DN16 ISO-KF,抽速可达到60 L/s,转速为90000rpm,对应的控制器为:Pfeiffer TC100,Pfeiffer TC600等。