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炉腔
是一个微波谐振腔，是把微波能变为热能对物料进行加热的空间。为了使炉腔内的物料均匀加热，工业微波炉就做成隧道式样，物料在输送带上连续运转。
炉门
炉门的设置在工业微波炉当中主要是为了便于清扫炉腔内的卫生而设计的。为了防止微波的泄漏，工业微波炉的开关系统由多重安全联锁微动开关装置组成。炉门没有关好，就不能使工业微波炉工作，微波炉不工作，也就谈不上有微波泄漏的问题了。为了防止在工业微波炉炉门关上后微波从炉门与腔体之间的缝隙中泄漏出来，在微波炉的炉门四周安有抗流槽结构，或装有能吸收微波的材料，如由硅橡胶做的门封条，能将可能泄漏的少量微波吸收掉。抗流槽是在门内设置的一条异型槽结构，它具有引导微波反转相位的作用。在抗流槽入口处，微波会被它逆向的反射波抵销，这样微波就不会泄漏了。

磁控管
磁控管是微波炉的心脏，微波能就是由它产生并发射出来的。磁控管工作时需要很高的脉动直流阳极电压和约 3～ 4V 的阴极电压。由工业微波电源的调控工作为磁控管提供了满足上述要求的工作电压。
定时器

热断路器
热断路器是用来监控磁控管或炉腔工作温度的元件。当工作温度超过某一限值时，热断路器会立即切断电源，使微波炉停止工作。