深圳电子芯片车间无尘车间设计方案-万级净化工程
芯片无尘车间设计方案 深圳万级净化工程 深圳电子厂净化工程 电子芯片净化车间
负责人:刘红超,
当前,在芯片生产加工上的无尘标准的要求就是要A级的,像这样的高的要求标准主要是被应用在在一些等级较高芯片生产上,而业内称之为的1K级别的就是微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内。
无尘车间设计装修进入过滤器无尘车间人员穿着无尘服与无尘鞋,并严格按以下顺序进入过滤器无尘车间:
1、戴上无尘帽(头发不可露出)。
2、戴上无尘口罩。
3、穿着无尘衣(拉上拉链后,扣好颈部头罩)。
4、穿上无尘鞋。
5、戴上手套(衣袖口须包住手套口)。
6、着装完成照镜检查服装仪容。
7、进入风淋室。
8、进入ZC风淋室双门互锁后自动吹淋,听从风淋室语音提示,摆动身体,吹净时间15秒。
9、在过滤器无尘车间设计装修后,动作宜轻缓、以免影响层流及生产大量微尘。
10、工厂稽查小组对过滤器无尘车间洁净纪律,每日不定期稽查并记录分配各班组改善。
无尘车间设计参数
温度:22℃±2;湿度:55%±5;基本需要满布FFU,做高架地板。做MAU+FFU+DC系统。还有保持正压,相邻房间压力梯度在10pa左右。
无尘车间若非得用换气次数来衡量的话200次/h以上,百级无尘车间若是以层流风速来说的话>0.35 m/s,