电子洁净车间在无特别的要求的情况下,温度控制在22℃上下,相对湿度控制在55~60%RH之间,在这种室内环境下,大家若是感觉较为舒适的话,那就表示静电消失了。无尘车间的温度湿度控制由其生产工艺决定,但其精度同时也需看其房间内的大小比如计量室、光栅刻线室、精密仪器制造和装配车间等。空态检测方法 指的是无尘车间系统已处在一切正常的运转状态,但工艺设备以及工作人员还未进入到无尘车间的情况下检测的。
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