电子洁净车间在无特别的要求的情况下,温度控制在22℃上下,相对湿度控制在55~60%RH之间,在这种室内环境下,大家若是感觉较为舒适的话,那就表示静电消失了。
综合多个行业我们总结出温度湿度对无尘车间的影响:
细菌病毒生长;
工作人员感到室温舒适的范围;
发生静电荷;
金属腐蚀;
水汽冷凝;
光刻的退化;
吸水性。
无尘净化车间主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度以及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为净化车间。