多功能供气系统反应炉气体混合配比器

甲烷催化燃烧评价装置流量计配比器采用了七星华创流量计控制器,CS 列产品的各项技术指标均严格按照SEMI标准,相对于模拟产品具有精度高,响应快,使用便捷。可实现功能多、易于通讯、扩展性和可兼容性强等优点。CS系列产品已被广泛应用于半导体,太阳能、燃料电池、真空、分析仪器、光电、制气、石化、医疗、航空电力等行业。



甲烷催化燃烧评价装置流量计配比器 多功能供气系统 反应炉 气体混合配比器



此款设备 定制系列 详询小店客服报价


采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，了传感器线性。

• CS200C产品采用的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS200C产品金属表面粗糙度更可达10RA以下，CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA。

• CS200产品严格按照SEMI标准生产制造，尺寸符合国际通用的SEMI标准。

• CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字，模拟输入输出。

• 产品支持RS485，DeviceNet通讯方式。

• 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件