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仪器校正中位移比例杠杆放大结构是其基本工作原理(即经常采用的正弦尺原理)的核心，它是通过比例放大装置将被校传感器测量的位移按比例放大之后，与基准传感器所测量的结果进行比较，并将二者所测得的结果按照一定的进行数据处理终确定其线性误差，从而被校正传感器的测量精度。我们只了自校正的理论基础，但不同的传感器的结构形式和不同测量原理的设备，采用的自校正的和校正的装置都不可能完全相同。这是因为杠杆比例放大结构在测量原理上存在两大缺陷，一是杠杆结构自身的缺点：杠杆支点的位置不确定性对位移的放大比例产生直接的影响；另外杠杆支点的转角刚度对杠杆的挠曲变形起着决定性的作用，而且这些影响非常复杂很难用简单的函数关系表达出来。而这种复杂的影响关系对自校正的准确性的影响也很复杂，不易于修正；二是比例杠杆应用在有效面积型传感器中的缺点：比例杠杆在弯曲变形时，对于被校正具有有效测量截面的传感器而言，其位移变化存在着正弦尺的原理误差，在对这类传感器进行仪器校正时充分考虑其对仪器校正精度的影响。对于任何形式的精密电容测微仪，由于其所使用的电容传感器都具有一定的有效测量面积，采用自校正进行校正时，上述杠杆比例放大结构的两种影响都是不容忽视的。根据上述仪器校正基本工作原理，对具有有效测量面积类型的传感器进行自校正时，对其自校正装置进行合理的设计，具体实验装置如图2-8所示。该自校正实验装置采用了两个坡度相同的比例斜块，当二者发生相对运动时，即可放大(或缩小)在其相互垂直方向上的位移，以此实现自校正中被测传感器测量距离放大(或缩小)的目的。采用这种位移比例放大(或缩小)装置，在接个运动中既没有支点的位置精度的影响也没有挠曲变形的比例非线性，从原理上解决了比例杠杆结构对有效面积类型传感器自校正精度的影响。

世通仪器检测服务有限公司是经合格评定认可会(CNAS)认可,为企业提供仪器计量、仪器校准、仪器校正的第三方公正实验室，所出校准证书/报告均符合ISO/IEC17025:2005仪器校准和检测实验室能力的要求。本公司同时拥有广东东莞仪器校准实验室和江苏昆山仪器校准实验室,其中东莞世通仪器校准实验室注册资本1000万元,获CNAS认可编号为L3170,江苏世通仪器校准实验室注册资本1000万元,获CNAS认可编号为L6634,实际投资资本超过3000万元,并都建有规范化科室,实验室面积近万平米,仪器校准设备1000余套,通过CNAS认可项目700余项. 

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根据电容测微仪传感器的结构形式特点和安装的特殊要求，采用斜面位移比例放大结构非常适合。因为斜面式位移比例放大装置，其比例放大倍数是由两相互斜面的坡度来决定，只要改变斜面坡度值的大小，就可以实现任意比例放大倍数。另外，采用这种结构位移比例放大系数在整个测量中非常，因此可以大大的传感器自校正的准确度和性。在图2-8的自校正装置原理图中，以直径为由3mm的单极板电容传感器A和B为例进行自校正。传感器A可以通过装置改变其与被测面之间的距离，以便对传感器不同的测量范围段进行校正。具体的校正是压电驱动器推动比例斜面位移使基准传感器由测量的初始位置变化到满量程，与此同时计算机采集传感器A和B的变化量，实现校正的自动数据采集。由于比例斜面的放大作用被校正传感器只能校正其满量程的l/n。之后压电驱动器返回到基准传感器的初始位置，同时被校正传感器到刚才校正的后一点的位置，进行下一个1/n量程的仪器校正，依次进行n次即可完成一个校正循环。另外从2-l节的推导可以看出，n值取的愈大在校正的中基准传感器对被测传感器误差的放大作用愈大，校正的精度就会愈高。但是n值愈大在校正中基准传感器安装的愈多，进行一次完整的校正的时间就会愈长，这样由于安装和校正的漂移引起的校正误差就会愈大。由于上述原因，如果n值取得太大，反而会校正的准确性。因此，在实际n值的选取中，进行的考虑选取一个折衷数值。

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微驱动器作为一种能产生微米、纳米级的微型装置，为微机械提供动能，已成为微机械研究的一个重要支柱。由于它的输出能产生微米、纳米级的操作，因此在工业的各个领域中了广泛的应用和推广。近年来，国内外研究的微驱动器，按其工作原理大致可分为静电、电磁、压电、形状记忆合金、热和光驱动、超导驱动等类型，其中压电型驱动器是利用压电陶瓷的逆压电效应设计而成，是一种新型的微位移器件，具有结构简单、体积小、响应快、分辨力高、控制简单、没有问题等优点，是的微位移器件。压电驱动器的上述诸特点赋予了它广阔的应用前景和实用价值，故了国内技人员的关注。压电陶瓷是具有压电效应的压电材料，在经过极化处理的陶瓷体上沿其方向施加一个机械压力(或释放压力)时，陶瓷体就会产生充(放)电现象，即正压电效应；反之，若在陶瓷体上施加一个与极化方向相同(或相反)的电场，则会引起陶瓷体伸长(或缩短)的变形，即逆压电效应。我们利用压电陶瓷的逆压电效应来产生的微位移运动。