气体控制系统用于控制真空腔体内的气体压力和组成,以调节薄膜的性质。控制系统则是用于对各个部件进行控制和监控,以实现对薄膜制备过程的控制。
真空镀膜机广泛应用于光学、电子、材料等领域,用于制备反射镜、透镜、光学滤波器、导电膜等功能薄膜。
卧式电阻回收蒸发真空镀膜机设备的工作原理是,将待镀物放置在真空腔体中,通过抽气系统将腔体内的空气抽出,使腔体内形成高真空环境。然后,通过电阻加热系统加热蒸发源,使其达到蒸发温度。蒸发源上的材料开始蒸发,形成蒸汽。蒸汽在真空环境中扩散,沉积在待镀物表面形成薄膜。薄膜的成分和性质与蒸发源的材料有关。
卷绕式真空镀膜机设备是一种用于在卷绕材料表面进行薄膜镀覆的设备。它通常由以下几个主要组成部分构成:
1. 卷绕系统:用于将卷绕材料(如卷绕纸、塑料薄膜等)从卷轴上展开,并将镀膜后的材料重新卷绕到卷轴上。
2. 真空腔体:提供一个真空环境,用于进行薄膜镀膜过程。真空腔体通常由不锈钢材料制成,并具有密封性能,以确保在真空操作期间不会泄漏。
3. 蒸发源:用于蒸发镀膜材料,产生蒸汽或离子,以在卷绕材料表面形成薄膜。常见的蒸发源有电子束蒸发源和磁控溅射源等。
4. 控制系统:用于控制整个设备的运行,包括真空度、蒸发源功率、卷绕速度等参数的调节和监控。