真空镀膜电源电磁加热器

一、直流磁控溅射镀膜电源
1．产品特点：
（1）输出高频脉动直流电，纹波小，响应速度快。
（2）人机交互操作界面，DSP数字芯片控制，RS485通信；远/近控切换，IGBT逆变。
（3）操作界面自定义恒流、恒压、恒功率控制。
（4）内置储能电子电抗，自动匹配负载。
（5）抑制靶材弧光放电，理想的电压陡降特性，自动识别伪打火
（6）完善的保护功能，设有过流、过压、过热、限流、短路等多重保护。
（7）工艺重复性好，成膜速度快， 实现的溅射膜层。
2．技术参数
型号：ZL-10KW（输入电压：380V+N； 输出功率 ： 0-10KW； 输出电压：0-800V/1000V；
输出电流：0-12.； 冷却方式：水冷+风冷； 外形尺寸：480*280*580mm ）
型号：ZL-20KW（输入电压：380V+N； 输出功率 ： 0-20KW； 输出电压：0-800V/1000V；
输出电流：0-2； 冷却方式：水冷+风冷； 外形尺寸：480*280*580mm ）
型号：ZL-30KW（输入电压：380V+N； 输出功率 ： 0-30KW； 输出电压：0-800V/1000V；
输出电流： 0-37.；冷却方式：水冷+风冷； 外形尺寸：480*280*580mm ）
型号：ZL-40KW（输入电压：380V+N； 输出功率 ： 0-40KW； 输出电压：0-800V/1000V；
输出电流： 0-50A； 冷却方式：水冷+风冷； 外形尺寸：480*280*580mm ）
型号：ZL-60KW（输入电压：380V+N； 输出功率 ： 0-60KW； 输出电压：0-800V/1000V；
(主机+从机） 输出电流：0-7； 冷却方式：水冷+风冷； 外形尺寸：480*280*580mm ）
二、中频磁控溅射镀膜电源
中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出，电源输出频率设为典型的中频溅射电源以两个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射，使靶材表面积累电荷有的到充分泄放时，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒，特别适用于反应膜层环境使用。
1．产品特点：
（1）适用于中频孪生靶磁控溅射金属或非金属材料；特别适用于磁控反应溅射环境使用。
（2）人机交互操作界面；单片机智能控制；RS485通信；非晶逆变；模块IGBT设计。
（3）自定义恒流、恒压、恒功率控制；输出电压、输出电流宽范围调节。
（4）完善的保护功能；设有过流、过压、过热、短路等多重保护。
（5）内置电子电抗；自动匹配负载；输出频率40KHz。
（6）自动抑制靶材弧光放电及靶材表面中毒。
（7）镀膜工艺重复性好；提高成膜速度。
2．技术参数
型号：ZP-10KW（输入电压：380V+N； 输出功率 ： 0-10KW； 输出电压：0-800V/1000V；
输出电流：0-12.； 冷却方式：水冷+风冷； 外形尺寸：480*280*580mm ）
型号：ZP-20KW（输入电压：380V+N； 输出功率 ： 0-20KW； 输出电压：0-800V/1000V；
输出电流：0-2； 冷却方式：水冷+风冷； 外形尺寸：480*280*580mm ）
型号：ZP-30KW（输入电压：380V+N； 输出功率 ： 0-30KW； 输出电压：0-800V/1000V；
输出电流： 0-37.；冷却方式：水冷+风冷； 外形尺寸：480*280*580mm ）
型号：ZP-40KW（输入电压：380V+N； 输出功率 ： 0-40KW； 输出电压：0-800V/1000V；
输出电流： 0-50A； 冷却方式：水冷+风冷； 外形尺寸：480*280*580mm ）
型号：ZP-60KW（输入电压：380V+N； 输出功率 ： 0-60KW； 输出电压：0-800V/1000V；
(主机+从机） 输出电流：0-7； 冷却方式：水冷+风冷； 外形尺寸：480*280*580mm ）
三、偏压镀膜电源
1．产品特点：
（1）输出负极性电压（输出端正极连接容器装置地，输出端负极连接靶材）。
（2）人机交互操作界面；DSP数字芯片控制；RS485通信；远/近控切换；非晶逆变。
（3）自定义恒流、恒压、恒功率控制。
（6）内置电子电抗；自动匹配负载。
（5）内置大功率高频开关稳压电源。
（4）完善的保护功能；设有过流、过压、过热、限流、短路等多重保护。
（6）提高真空等离子体内带电粒子能量，轰击清洁被镀工件表面，提高沉积膜层的结合力。
2．技术参数
型号：PY-10KW（输入电压：380V+N； 输出功率 ： 0-10KW； 输出电压：0-800V/1000V；
输出电流：0-12.； 冷却方式：水冷+风冷； 外形尺寸：480*280*580mm ）
型号：PY-20KW（输入电压：380V+N； 输出功率 ： 0-20KW； 输出电压：0-800V/1000V；
输出电流：0-2； 冷却方式：水冷+风冷； 外形尺寸：480*280*580mm ）
型号：PY-30KW（输入电压：380V+N； 输出功率 ： 0-30KW； 输出电压：0-800V/1000V；
输出电流： 0-37.；冷却方式：水冷+风冷； 外形尺寸：480*280*580mm ）
型号：PY-40KW（输入电压：380V+N； 输出功率 ： 0-40KW； 输出电压：0-800V/1000V；
输出电流： 0-50A； 冷却方式：水冷+风冷； 外形尺寸：480*280*580mm ）
型号：PY-60KW（输入电压：380V+N； 输出功率 ： 0-60KW； 输出电压：0-800V/1000V；
(主机+从机） 输出电流：0-7； 冷却方式：水冷+风冷； 外形尺寸：480*280*580mm ）
四、扩散泵电磁加热器
1.产品概述：本产品是专为扩散泵加热而量身设计的电磁加热器，它的特色是具有快速、、节能、、抗干扰等特点。扩散泵电磁加热器是真空镀膜设备扩散泵的加热系统，加热速度快、节能环保、比电热丝加热可以省电40%左右。安装非常简单，根据功率和扩散泵的尺寸制作扩散泵电磁感应线圈，线圈做好后直接固定在扩散泵底部，电磁感应加热用在真空扩散泵中具有使用安全、加热速度比电热丝加热快2/5的时间，节约了预热成本提高了生产效率，电磁感应加热原理是通过电磁感应线圈直接对真空扩散泵底部感应加热，扩散泵底部自身发热。电热丝加热方式是加热盘自身的温度加热到很高温度然后传递到扩散泵底部，这样就会有大量的热量散失到空气中，增加了车间的温度还造成了能量损失。电磁感应加热是使扩散泵底部自身发热没有热量损失， 线圈装好后一般可以用到3-5年，后期没有什么维护成本。电热丝加热很容易损坏，使用时间久了功率还会衰减，所以电磁感应技术应用在真空扩散泵中是很理想的一种加热方式。
2．技术参数
型号：KSB800-1；输入电压：380V+N；加热功率：20KW(Max)；线盘直径/数量：800mm/1个；
保温棉直径/数量：800mm/1块；冷却方式：风冷；机箱尺寸(mm)：440*360*645。
型号：KSB1000-1；输入电压：380V+N；加热功率：20KW(Max)；线盘直径/数量：800mm/1个；
保温棉直径/数量：800mm/1块；冷却方式：风冷；机箱尺寸(mm)：440*360*645。
型号：KSB800-2；输入电压：380V+N；加热功率：20KW(Max)；线盘直径/数量：800mm/2个；
保温棉直径/数量：800mm/2块；冷却方式：风冷；机箱尺寸(mm)： 440*360*950。
型号：KSB1000-2；输入电压：380V+N；加热功率：20KW(Max)；线盘直径/数量：800mm/2个；
保温棉直径/数量：800mm/2块；冷却方式：风冷；机箱尺寸(mm)： 440*360*950。