日本进口原装设备_半导体光刻设备_日本制钢JSW_激光退火装置

日本进口原装设备_半导体光刻设备_日本制钢JSW_激光退火装置_深圳酷阳电子

固体激光退火装置
近年来，半导体元器件的集成化越来越高，构造也越来越复杂，在半导体加工制造过程中，仅局部需要加温热处理的需求增加。深圳酷阳电子代理的日本制钢株式会社JSW开发的固体激光退火装置可满足此要求，该设备被广泛应用于各种图像传感器领域，目前包括索尼SONY，三星SAMSUNG，台积电TSMC，东芝TOSHIBA等大量公司使用中，同时，JSW也同步面向其他领域不断开发新产品，为半导体领域的发展做出贡献。

深圳酷阳电子凭借多年来日本市场的耕耘，与JSW公司建立合作，为国内半导体制造商提供的日本进口原装设备，助力国内半导体事业的发展。

产品特征：
1）搭载长1,200ns脉冲，宽度可调的激光器
2）深领域活性化
3）浅领域活性化

主要规格：
1）激光种类： Asama 80-8
2）波长： 515nm
3）脉冲宽度： 250ns-1200ns (可变更)
4）频率： 10kHz
5）加热尺寸 3mmx35μm(5J/cm2)
29mmx8μm(2J/cm2)
6）晶圆尺寸 150m / 200mm / 300mm