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进一步为了避免下驱动装置受到外界震动的影响，进而保下驱动装置的工作精，所述底座和下驱动装置之间设置有减震装置，所述下驱动装置的底端设置有承载板，所述承载板通过少两个螺钉固定连接在底座上，所诉减震装置包括与螺钉分别一一对应的下减震橡胶垫和上减震橡胶垫，所述下减震橡胶垫套装在螺钉的下端部，所述下减震橡胶垫的底部和底座抵接，所述下减震橡胶垫的顶部和承载板抵接，以便于通过下橡胶减震垫吸收从外界传来的震动，以避免下驱动装置受到外界震动的影响，所述上减震橡胶垫套装在螺钉的上端部，且所述上减震橡胶垫与承载板的上端面压接，以避免螺钉的震动影响到承载板。蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，本文从晶体生长物理基础和流体力学的基本理论出发,结合硅单晶制备过程中热质输运的分析,采用实验和数值分析相结合的方法,以大直径硅单晶制备为主要研究对象,研究热场结构、控制参数和外加磁场对大直径硅单晶生长的影响。通过数值分析的手段,研究了结构参数和控制参数对晶体生长特性的影响,确定了晶体制备的工艺条件;采用28inch和32inch热场制备出400mm和45

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