浙江拱墅涡旋高真空泵回收浙江拱墅直拉式单晶炉回收

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提拉头:主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成、副室:主要是副室筒以及上下法兰组成、 炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗 抽真空管道 组成/炉筒:包括取光孔、下炉筒:包括抽真空管道、底座机架:全铸铁机架和底座? 坩埚下传动装置:主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成、分水器已经水路布置:包括分水器,进水水管,若干胶管 水管卡套等、管道布置:质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除尘装置:油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管’电源以及电控柜:电源柜 滤波柜、控制柜、以及连接线等等、
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直拉式单晶生长炉的制作方法、专利名称:直拉式单晶生长炉的制作方法、技术领域:本发明涉及一种直拉式单晶生长炉。背景技术:图1为切克劳斯基(直拉)法制造硅单晶的单晶炉剖面示意图;图1-2 中,l为炉筒,2为保温盖,3为保温盖,4为保温材津牛,5为保温罩,6为 加热器,7为水套,8为石英埚,9为导流筒,IO为炉底护盘、12为输 入管、11为分布有出气孔11-1的环形气体分布器、13为排气口。直拉硅单晶在生长过程中需要向炉内不断充入,并与炉内生成的 一氧化硅及杂质粉尘混合,由于单晶炉内的加热器和坩埚支持器等均由石 墨制成, 一氧化硅易腐蚀所述石墨制成的器件且杂质粉尘易吸附在这些器 件上,从而影响了单晶炉的使用寿命。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,权利要求1、一种直拉式单晶生长炉,包括设于该炉顶部并伸入炉内的输入管(12)、与输入管(12)相连通的环形气体分布器(11);其特征在于经输入管(12)输入的气压为0.8×10a0.9×10a,流量为30L/min。2、 根据权利要求1所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于还包括 设于该炉的坩埚支持器(14)下方和该炉底部的排气口 (13)之间的气流 导向装置(20);该气流导向装置(20)为碗形,其包括设于气流导向装 置(20)底部的中轴孔(2-1)、设于所述中轴孔(2-1)两侧的一对电 极孔(2-2)、以及设于所述中轴孔(2-1)两侧并与该炉的排气口 (13)相 对的通气孔(2-3);该炉的石墨中轴(21)

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