氮化硅在半导体中的应用

氮化硅陶瓷的应用给冶金业带来了勃
勃生机：， 提高了使用寿命，这基于氮化硅材料抗冰晶石等的侵蚀能力较强，抗氧化性能也较好；其次，
增加了产量，材料机械强度较高，减小衬里厚度，增大槽内工作容积，电极能量相应增大；后，降低了单位电耗，较高的电导率，较小了相应电损失。由于氮化硅Si3N4原料纯度的提高，Si3N末的成型技术和烧结技术的迅速发展，以及应用领域的不断扩大，Si3N4正在作为工程结构陶瓷，在工业中占据越来越重要的地位Si3N4陶瓷具有的综合性能和丰富的资源，是一种理想的高温结构材料，具有广阔的应用领域和市场，都在竞相研究和开发。

图片由杭州海合精密陶瓷提供

氮化硅陶瓷特点

陶瓷材料的结合通通常为离子键、共价键或离子—共价键混合馒，这些键不但结合力高而且具有方向性。
氮化硅具有优良的化学性能
,能耐除以外的所有无机酸和25%以下的氢氧化钠溶液腐蚀。
氮化硅陶瓷由于是键强高的共价化合物，并在空气中能形成氧化物保护膜，所以还具有良好的化学稳定性，1200℃以下不被氧化，1200~1600℃生成保护膜可防止进一步氧化。

图片由杭州海合精密陶瓷提供

体积密度：3.1-3.3，抗弯强度：600-800MPa，外观颜色：黑灰色，产品纯度：99.9%

制造商：海合精密，特性：自润滑陶瓷，微观结构：单晶，形状：异形

功能：固定用陶瓷，产品参数：40*10*10MM，价格：165元/件，产地：重庆南岸区

氮化硅陶瓷工艺

氮化硅陶瓷（Si3N4）耐热，在常压下，Si3N4没有熔点，于1870℃左右直接分解，可耐氧化到1400℃，实际使用达1200℃(超过1200℃力学强度会下降)并且热膨胀系数小（2.8-3.2）×10-6/℃，导热系数高，抗热震，从室温到1000℃热冲击不会开裂。

高纯纳米级氮化硅粉体 

产品纯度：99.99%以上

干压成型，等静压成型 

根据产品的外形和尺寸不同，采用不同工艺，确保产品质量

根据用户需求选择合理工艺 

可提供反应烧结，常压烧结，气压烧结，热压烧结等不同工艺方法制备的产品

尺寸精度：高可达0.003㎜

光洁度：高可达Ra0.03

同心度：高可达0.003㎜

平行度度：高可达0.003㎜

内孔：小可加工0.04㎜

直槽：窄可加工0.1㎜

厚度尺寸：小可加工0.1㎜

螺纹：小可加工内螺纹M2，外螺纹不限

氮化硅陶瓷精密结构件生产定制 

厂家批发，让价给顾客，并出示的售前服务售后维修服务。

产品检测，符合图纸要求 

技术人员，经验丰富，行业10余年沉淀。

包装运输确保产品安全送达 

陶瓷材料属于硬脆材料，安全可靠的包装是产品流通的后一道环节

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