yutaka半导体制造用压力控制设备L12系列

日本yutaka半导体制造用压力控制设备L12系列

L12系列（集成型）

• 功能

• 低压1MPa以下
  焊接规范金属垫片
  配件集成规格

• 调节阀结构

• 针型

• 兼容气体

• 7类特殊高压气体腐蚀性气体，有毒气体
  
  除外

• 标准流量

• ~60吨/分钟

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• 特点

  规范

  入口压力	大0.99MPa
  调节压力（L12・L12H）	大0.7MPa（量程规格0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.7MPa ）
  调节压力（L12V）	量程规格 -0.08~0.1MPa， -0.08~0.2MPa
  耐压压力	1.5MPa （入口侧）
  简历值	0.1
  工作温度	-10~+40°C
  外部泄漏	1×10-11Pa・m3/秒・He （真空方式）
  质量	约 270g（1.125“ SEMI 规格）

• L12 系列是按照 1.25“ SEMI 标准设计的压力调节器。

• 与集成供气系统的 1.125 英寸和 1.5 英寸 W 和 C 密封件兼容。

• 还提供高流量和真空规格以及端面密封接头类型。