SemilabWT-2010D少子寿命测试仪（二手销售/回收/租赁）

WT-2000D/WT-2010D少子寿命测试仪
1. 简介
WT2000D 系统作为硅材料质量监控的可集成测试平台，能够应用于光伏和半导体行业
的硅原料检测、硅晶片加工和晶圆制造等各生产环节。
WT2000-D 由两台工业控制计算机控制，其中一台计算机是 DOS 操作系统，主要负责
测量数据的处理，机器动作的控制与监控，并与另一台计算机通讯。另一台电脑是 Windows
操作系统， wintau32 操作软件被安装在此。
WT2000-D 系统可以将各项测试功能集成到一个探头上， 客户可根据需要来选配不同的
测试功能。
1.1 选配功能
z μ-PCD / 无接触微波光电导衰减法少子寿命扫描
z SPV / 表面光电压法扩散长度扫描
z LBIC / 电池的光诱导电流扫描，计算电池内外量子效率
z Reflectance / 反射率扫描
z IQE/EQE 内/外量子效率扫描
z SHR / 无接触方块电阻扫描
z Eddy Current / 涡流法体电阻率扫描
z Iron concentration / 无接触铁含量扫描
z Bias light / 偏置光补偿选项
z PN / 无接触型号测试
1.2 主要特点
z 可以对硅原料检测、硅晶片加工和电池片制造等各生产环节进行监控
z 可以对硅锭、硅棒和电池片做全扫描
z 能适应低电阻率样片（锭）的测试需要
z 可以选加不同的表面钝化选项
z 自动寻找边缘，用于不同形状、尺寸的硅片（锭）测试
z 大硅锭、硅棒测试尺寸可以达到500×210×210mm3