美国步高POCO石墨SCF-2PECVD石墨舟

高纯石墨

高纯石墨一般指含碳量在99.99%以上的石 墨，在组织结构上可分为粗颗粒结构、细颗粒结构和超细颗粒结构三类，高纯石墨大量用于直拉单晶硅炉中。集成电路的基础材料主要是硅单晶芯片，目前硅单晶的成长工艺主要采用直拉法，其他方法还有磁场直拉法、区域法以及双坩埚拉晶法，直拉单晶硅炉中的石墨件是消耗品，采用高纯石墨材料加工成直拉单晶硅炉的加热系统。

高纯石墨另一重要用途是加工成各类坩埚，用于生产贵金属、稀有金属或高属、非金属材料。光谱分析用石墨电极也是一种高纯石墨，可用于除碳元素以外的所有元素的光谱化学分析，光谱分析用石墨电极用挤压方法成型。成品的杂质元素含量应不大于6*10-5。在光谱分析中制备标准样品和用化学方法捕集杂质时需用光谱纯炭粉或光谱纯石墨粉，这两种高纯材料对杂质含量的要求都是在6*10-5；在某些用途方面，需要含碳量达到99.9995%，总灰分含量小于5*10-6。高纯石墨的成型方法有挤压成型、模压成型及等静压成型三种。

EDM是英文单词Electrical Discharge Machining的缩写，即电火花加工，EDM石黑行业即模具行业利用石墨的导电性做成电火花模具进行放电加工用的石墨原材料。
EDM石墨（电火花加工）主要用于加工各种形状复杂和精密细小的工件，例如冲裁模的凸模、凹模、凸凹模、固定板、卸料板等，成形刀具、样板、电火花成型加工用的金属电极，各种微细孔槽、窄缝、任意曲线等，具有加工余量小、加工精度高、生产周期短、制造成本低等优点，已在生产中获得广泛的应用，目前国内外的电火花线切割机床已占电加工机床总数的60%以上。
电火花加工是利用电极与工件之间的火花通电时，所产生的瞬时间的高温，去层层蚀除工件表面上材料的原理。电火花加工适用于高硬度导电工件的加工。数控电火花成型机床便是电火花加工的好范例。
EDM是在车、磨、铣之后的流行的第四种加工方法。与传统铜电极相比，EDM用等静压石墨有如优点：
同体积石墨的价格仅为铜电极的25%。
石墨加工速度是铜电极加工速度的3-5倍，加工表面光滑。
加工精度高，易于抛光。
石墨的体密仅为铜电极的1/5，更适于制作大型电极。
做为电火花加工用电极时，期消耗仅为铜电极的1/3-1/5，且火花油分解碳化物被覆，补偿电极耗损。

稳定和合理的价格
石墨材料价格只需要同等体积的铜电极的15％。目前石墨已成为EDM应用的热门材料，相较之下石墨材料的成本更低，更稳定。
切削加工更为容易
石墨具有的机械加工性能。机械加工速度的石墨电极比铜电极多2-3倍。同时，石墨加工完不需要担心毛刺问题。
热膨胀系数低
铜的熔点是1080℃，而石墨是3650℃石墨的 CTE只有铜1/30。它是即使在温的情况下性能也非常稳定。即便在铂电极的加工中，石墨电极也有明显的优势。
重量轻，密度低
为石墨的密度通常为1.7-1.9g/cm3的（铜为石墨的4-5倍）。与铜电极相比，石墨电极将在此过程中减少机械负载。它更适合应用大型模具。
良好的切削加工
与金属材料相比，石墨的体积设计为低。它具有的机械加工性能。
的粘接效果
碎石墨可通过粘合剂被粘合，这节省了时间和材料成本。
的电阻率
电阻率（ER）确定到的电流的流动的材料的电阻。较低的电阻率，这意味着更好的导电性。