正性显影液包括TMAH、NaOH、AZ 400K、AZ 826 MIF、AZ ECI 3027等;负性光刻胶显影液有AZ 326 MIF Developer、AZ 726 MIF Developer、AZ 826 MIF Developer等。选择合适的显影液需考虑光刻胶类型、分辨率、胶厚等多方面因素
EBR洗边剂 | EBR7030 | 加仑/20L | 日本 |
AZ1500 thinner(PGMEA) | 加仑 | 日本 | |
显影液 | AZ 400K (KOH) | 加仑/200L | 台湾 |
AZ 300MIF | 加仑/ | 韩国 | |
AZ 726MIF | 5L | 德国 | |
AZ 826MIF | 5L | 德国 | |
AZ 340developer | 5L | 德国 | |
去胶液 | AZ 400T | 加仑/200L | 日本 |
AZ Remover700 | 加仑 | 日本 | |
AZ Kwik stripper | 加仑 | 日本 |