仪器主要技术参数及产品特点:
型 号
| SMU-4040HA
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X/Y/Z测量行程
| 400╳400╳200mm
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Z轴行程
| 调焦行程200mm(可根据客户要求定制加高)
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XY轴基座
| 00级济南青大理石
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仪器底座
| 00级济南青大理石
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玻璃台面尺寸
| 480╳480mm
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玻璃台承重
| 30kg
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传动型式
| Hiwin P级精密线性导轨
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Hiwin C5级研磨滚珠丝杆
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NSK原装进口轴承
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(可选配手持式移动摇杆操作)
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金属贴片光学尺
| X/Y轴分辨率:0.0005mm(0.5μm,可选配0.1μm)
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Z轴分辨率:0.0005mm(0.5μm,可选配0.1μm)
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X/Y线性测量精度(μm)
| ≤2.8+L/200
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机台定位精度(μm)
| ≤2.8
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重复精度(μm)
| ≤2.8
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电机
| HCFA双闭环CNC伺服系统
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X/Y轴采用HCFA400W伺服电机,双重闭环控制系统 Z轴采用HCFA(带刹车)100W伺服电机,双重闭环控制系统
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摄像机
| Hikvision 1/3”超清彩色工业数字相机
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测量软件
| 自主研发全自动影像软件 (测量数据可按客户报表格式导出或导入MES、QMS系统)
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镜头
| 全自动变倍镜头(可选配同轴光、探针、镭射头、激光定位导航) 光学放大倍率0.7-4.5X,影像放大倍率30-300X 放大倍率为近似值,与显示器的尺寸及分辨率相关, 可通过选配0.5X/2X物镜,实现放大倍率15-150X/60-600X
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光源系统
| 表面光源:5环8区LED冷光源,255级立调节
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轮廓光源:LED绿色冷光源,255级立调节
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仪器外形尺寸(L*W*H)
| 1230╳820╳1850mm
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仪器重量(kg)
| 400kg(机台高速运行时的稳定性)
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电源
| AC220V/50HZ AC110V/60HZ
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电脑
| intel I5主机
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显示器
| 27寸
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质保
| 整机质保1年
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影像视频卡
| intel千兆网卡
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电源开关
| 台湾铭纬 MW 12V-24V,漏电、短路保护
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电源滤波器
| X、Y、Z共3组立滤波器(抗电流干扰)
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