高真空探针台冷热型

高温真空探针台KT-Z1604TZ
真空探针台可实现高真空环境下的高温及低温电学性能测量，真空腔一体成型，具有设计合理，真空度稳定，温控精度及机械精度高等特点；根据测试温度范围不同，可单选高温或低温等相应组件，温度可达到400℃，低温部分采用液氮或液氦冷却组件，温度可低至-190℃，；真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-3Torr或10-6Tor。
高低温真空探针台应用：
可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

高温真空探针台KT-Z1604TZ参数
真空腔体
腔体材质 304不锈钢
上盖开启 铰链侧开
加热台材质 304不锈钢
内腔体尺寸 φ160x90mm
观察窗尺寸 Φ70mm
加热台尺寸 φ60mm
观察窗热台间距 75mm
加热台温度 ﹣196~350℃
加热台温控误差 ±1℃
真空度 机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允许正压 ≤0.1MPa
真空抽气口 KF25真空法兰
气体进气口 3mm-6mm卡套接头
电信号接头 SMA转BNC X 4
电学性能 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V
探针数量 4探针
探针材质 钨针
探针尖 10μm
探针移动平台
X轴移动行程 30mm ±15mm
X轴控制精度 ≤0.01mm
Y轴移动行程 13mm ±12.5mm
Y轴控制精度 ≤0.01mm
Z轴移动行程 13mm ±12.5mm
Z轴控制精度 ≤0.01mm
电子显微镜
显微镜类别 物镜
物镜倍数 0.7-4.5倍
工作间距 90mm
相机 sony 高清
像素 1920※1080像素
图像接口 VGA
LED可调光源 有
显示屏 8寸
放大倍数 19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm