晶圆贴膜机STK-7150_全自动半导体
晶圆贴膜机STK-7150全自动半导体规格:
贴膜原理:自动滚轴贴膜技术;
晶圆直径:8”、12”;
晶圆厚度:100~750微米;
晶圆种类:正常的V型缺口晶圆;
膜种类:蓝膜、UV膜;
300~400毫米UV/非UV膜;
长度:100米;
厚度:0.05~0.2毫米;
晶圆承载环:8”、12”DISCO 或者K&S标准;
贴膜定位精度:±0.5mm;
装卸方式:手动晶圆/承载环放置与取出;
防静电控制:去离子风扇;
台盘温度:室温~ 120℃,可编程控制;
切割系统:环型切刀用于8”、12”DISCO承载环;
控制单元:基于PLC 控制,带7”触摸屏;
安全防护:配置光帘保护和紧急停机按钮;
电源电压:单相交流电220V,16A;
压缩空气: 60 PSI清洁干燥压缩空气,流量每分钟2.5立方英尺;
机器结构:全铝型材制造,坚固;
机器外壳:白色喷塑金属外壳;
体积:850毫米(宽)*1450毫米(深)*1700毫米(高);
净重:350公斤;
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