NS-3500高速共聚焦激光扫描显微镜

NS-3500是一款高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)，可用于可靠的三维(3D)测量。通过光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。这是测量和检测微观三维结构，如半导体晶片，FPD产品，MEMS设备，玻璃基板，材料表面等有前途的解决方案。
Features & Benefits（性能及优势）：
· 高分辨无损伤光学3D测量 自动倾斜补偿

· 实时共焦成像 简单的数据分析模式

· 多种光学变焦 双Z扫描

大范围拼接 半透明基材的特征检测

· 实时CCD明场和共聚焦成像 无样品准备

· 自动聚焦

Application field（应用领域）：

NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。

可测量微米和亚微米结构的高度，宽度，角度，面积和体积，例如

-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺

- FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度

- MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形

-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案

-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析</a>