NS-3500是一款高速共焦激光扫描显微镜(CLSM),可用于可靠的三维(3D)测量。通过光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。这是测量和检测微观三维结构,如半导体晶片,FPD产品,MEMS设备,玻璃基板,材料表面等有前途的解决方案。
Features & Benefits(性能及优势):
· 高分辨无损伤光学3D测量 自动倾斜补偿
· 实时共焦成像 简单的数据分析模式
· 多种光学变焦 双Z扫描
大范围拼接 半透明基材的特征检测
· 实时CCD明场和共聚焦成像 无样品准备
· 自动聚焦
Application field(应用领域):
NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。
可测量微米和亚微米结构的高度,宽度,角度,面积和体积,例如
-半导体:IC图形,凹凸高度,线圈高度,缺陷检测,CMP工艺
- FPD产品:触摸屏屏幕检测,ITO图案,LCD柱间距高度
- MEMS器件:结构三维轮廓,表面粗糙度,MEMS图形
-玻璃表面:薄膜太阳能电池,太阳能电池纹理,激光图案
-材料研究:模具表面检测,粗糙度,裂纹分析</a>