晶圆临时键合WaferBonding

晶圆临时键合Wafer Bonding
晶圆临时键合应用于晶圆临时性键合/解键合（Wafer Bonding/Debonding)工艺



晶圆临时键合的特点：
4”-8”/8”-12”晶圆适用，支持极薄化晶圆的键合。
可选真空热压/UV/激光等键合方式
晶圆临时键合智能测绘料篮内晶圆，兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料。
晶圆临时键合支撑晶圆、产品晶圆进行自动对准
晶圆临时键合可自动完成晶圆键合（Wafer Bonding)工艺。
可选配晶圆键合后的在线检测功能
工控机+Windows系统
SECS/GEM 或简易联网能力



晶圆临时键合Wafer Bonding规格：
贴片机 Wafer Bonding系列
键合晶圆尺寸 4”-8”/8”-12”
支持体基板 玻璃
键合装置：真空热压/UV/激光 定制
粘贴装置 搭载
晶圆盒形式 兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料
其他 SECS/GEM 或简易联网能力



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