带有对应PLP自动校准功能的4轴水平多关节型晶圆搬运机械手臂

带有对应PLP自动校准功能的4轴水平多关节型晶圆搬运机械手臂



带有对应PLP自动校准功能的4轴水平多关节型晶圆搬运机械手臂特点：
适用于并列配置工位的传送
非接触校准功能可实现搬运
可搬运重量10kg



带有对应PLP自动校准功能的4轴水平多关节型晶圆搬运机械手臂基本参数：
使用环境 洁净间内的大气环境
手臂 单臂
到达距离 1290 mm (被搬送物体中心到达距离)
升降轴MAX行程 400 mm
可搬运质量 10 kg (手臂第3关节处基准)



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