类型光刻胶型号适用光谱厚度范围/um分辨率适用工艺可用显影液可用去胶液纳米压印胶mr-NIL 6000E热固化和UV固化0.1-150nm可用于纳米图形的制造、刻蚀、多层系统等 mr-I 9000M热固化0.1-150nm mr-UVCur21UV固化0.1-550nm
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纳米压印胶mr-NIL6000Emr-I9000Mmr-UVCur21光刻胶
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