horiba堀场HF-960H酸浓度监测仪
フッ酸浓度モニタ <HF-960H>
概要
高浓度域のフッ酸・塩酸などの测定に适
HF-960Hは、半导体制造プロセスなどに使用されるフッ酸・塩酸浓度をに测定します。専用センサのFES-510シリーズは耐薬品性の高い材质を使用していますので、高浓度域のフッ酸・塩酸管理として适な构造です。
耐薬品性に优れたセンサ採用
特长
ワイドレンジ対応
表示レンジ自动切替
HF浓度・HCl浓度・导电率・温度の4种类の测定が可能
DC24V电源
RoHS対応品
仕様
形式
HF-960H
周囲使用温湿度
温度:-5~45℃、湿度:20~85%(结露しないこと)
电源
DC24V ±10% 10W(max)
保护构造
パネル部:IP65、リヤケース:IP20、端子部IP00(パネル取付屋内设置型)
质量
约550g
适合规格
CEマーキング、FCC Part15
适合センサ
FES-510シリーズ(流通型カーボンセンサ)
外形寸法図・他(単位:mm)