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horiba堀场HF-960H酸浓度监测仪

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horiba堀场HF-960H酸浓度监测仪
フッ酸浓度モニタ <HF-960H>

概要
高浓度域のフッ酸・塩酸などの测定に适
HF-960Hは、半导体制造プロセスなどに使用されるフッ酸・塩酸浓度をに测定します。専用センサのFES-510シリーズは耐薬品性の高い材质を使用していますので、高浓度域のフッ酸・塩酸管理として适な构造です。
耐薬品性に优れたセンサ採用


特长
ワイドレンジ対応
表示レンジ自动切替
HF浓度・HCl浓度・导电率・温度の4种类の测定が可能
DC24V电源
RoHS対応品

仕様
形式

HF-960H

周囲使用温湿度

温度:-5~45℃、湿度:20~85%(结露しないこと)

电源

DC24V ±10% 10W(max)

保护构造

パネル部:IP65、リヤケース:IP20、端子部IP00(パネル取付屋内设置型)

质量

约550g

适合规格

CEマーキング、FCC Part15

适合センサ

FES-510シリーズ(流通型カーボンセンサ)

外形寸法図・他(単位:mm)

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