等离子清洗机

等离子清洗机KT-S2DQX,用于表面清洗,活化,刻蚀等离子清洗机电源属于150W 13.56MHz的射频电源。作为一种精密干法清洗设备，主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。
该等离子清洗机KT-S2DQX,用于表面清洗,活化,刻蚀清洗机内置高纯石英仓体，容积为2升。采用了新型的外观结构设计和固态电源技术，使其有效容积增大，不同真空 气体环境下容易匹配，且控制频率稳定。真空仓门有观察窗，可直观物体的处理过程，其射频电源与控制都组装在一个机箱内，即减少了空间的占用，更便于操作和放置，同时与大型清洗机相比较，从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作，特别适用科学实验 样品清洗 和教学。



供电电源 AC220V（AC110V可选)
工作电流 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)
射频电源功率 150W
射频频率 13.56MHz
频率偏移量 ＜0.2MHz
特性阻抗 50欧姆，手动匹配
耦合方式 电容耦合
真空度 ≤100Pa
腔体材质 高纯石英
腔体容积 2L(内径110MMX深度220MM)
观察窗内径 Φ65
气体流量 10—100ml/min（其他量程可选）
过程控制 过程手动控制
清洗时间 手动开关
开盖方式 铰链侧开式法兰
外形尺寸 400x380x360mm
重量 23Kg
真空室温度 小于65°C
冷却方式 强制风冷
标配 KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。