大口径激光干涉仪上海乾曜光学

G300M大口径激光干涉仪系统是双路测量系统：一路是100mm（4英寸）小口径测 量系统，另一路是大口径平面测量系统。100mm口径系统可以进行平面元件和球面元件的测量。大 口径平面测量系统从100mm口径扩束到300mm（12英寸），标配平面透过 标准镜和平面反射标准镜。
G300S大口径激光干涉仪单光路系统，适合光学车间平面元件的现场检验。 主要用途：平面类光学元件（包括玻璃、金属、陶瓷等）表面面形、光学平行度和材料均匀性 的测试；准直系统波前质量的测试。球面类光学元件（包括各类玻璃、塑料透镜、球面反射镜、光 圈量规、球面轴承等）表面光圈、局部形变的测量，球面曲率半径的测量（配合光栅尺）。平面类 光学元件（平面镜、水晶、陶瓷、标准量块等）的表面光圈的测量。
仪器规格参数表
产品型号
G450M
G450S
G300M
G300S
测量方式
菲索干涉原理
菲索干涉原理
菲索干涉原理
菲索干涉原理
有效通光口径
100mm和450mm
450mm
100mm和300mm
300mm
标准镜材料
熔石英
熔石英
熔石英
熔石英
光源
波长调谐激光（632.8nm），配合波长移相干涉条纹分析软件
氦氖激光（632.8nm）不选配干涉条纹分析软件
连续变焦倍数
1-6.7倍
固定倍率
1-6.7倍
固定倍率
光路切换
对准（十字叉丝）与测试（干涉场）模式电控切换
显示方式
计算机或立监视器实时显示
小口径平面标准镜
PV：优于λ/20

PV：优于λ/20

小口径球面标准镜
PV：优于λ/10和λ/20

PV：优于λ/10和λ/20

大口径平面透过标准镜
PV：优于λ/10
PV：优于λ/10
PV：优于λ/15
PV：优于λ/15
大口径平面反射标准镜
PV：优于λ/10
PV：优于λ/10
PV：优于λ/15
PV：优于λ/15
大口径综合测量精度
PV：优于λ/10
PV：优于λ/10
PV：优于λ/10
PV：优于λ/10
衰减过滤片
选配
电源
AC100-240V 50/60Hz
推荐气浮平台尺寸
(长X宽)
3.5X1.2米
3.5X1.2米
2.5X1.2米
2.5X1.2米