深圳cindbest 4英寸手动探针台生产厂家
1.概叙
1.1 特点和用途
CS系列 探针台造型小巧,测量精度高,操作方便,符合人机工程学。主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。
同类案例:清华大学材料系,厦门大学,华侨大学,南京邮电大学,成都电子科技大学,中科院半导体所,中科院苏州纳米研究院,世纪晶圆,方正微电子等数十客户。
CS探针台能够胜任的测试有:
序号 根据测试样品分类 序号 根据应用分类
1 晶圆测试 1 射频测试
2 LED测试 2 高温环境测试
3 功率器件测试 3 低电流(100fA 级)测试
4 MEMS测试 4 I-v/c-v/p-iv测试
5 PCB测试 5 高压,大电流测试
6 液晶面板测试 6 磁场环境测试
7 太阳能电池片测试 7 辐射环境测试
8 材料表面电阻率测试 9 积分球测试
1.2主要性能参数
规格
Chuck(可选) 4" 或6" 不锈钢,真空吸附型,立开关控制
Chuck X-Y轴行程,精度 4" x4",10um
Chuck 旋转角度 0~360 度
Chuck 旋转角度微调精度 0.01°
Chuck快速升降(选配) 4mm
Chuck微调升降(选配) 4mm ,1um精度
Chuck 平整度 5um
针座平台 C型设计,可放置8个BT 型针座,可扩展为O型平台
针座平台平整度 5 um
显微镜Z轴行程,精度 2",细调精度0.1um
需求
电力 220 VAC, 60Hz
真空 -250 mmHg, 7 liter/min
尺寸
320mm宽*320mm长*400mm高(带显微镜)
重 20 Kg(带显微镜)
可选附件
激光切割
加热台
防震桌
显微镜暗场 / DIC/Normarski 检测
光强/波长测试接口部件
射频测试探头和线缆
有源探头
低电流/电容测试
高压测试
CCD视频系统
液晶漏电分析套装
屏蔽箱
镀金Chuck
深圳cindbest 4英寸手动探针台生产厂家
4.探针台的使用
1、将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。
2、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。
3、使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。
4、显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品x-y,将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。
5、待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针退后少许,再使用Z轴旋钮进行下针,后则使用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少许划痕,证明是否已经接触。
6、确保针尖和被测点接触良好后,则可以通过连接的测试设备开始测试。