NX20300mm大样品原子力显微镜

可用于 300mm晶片圆测量和分析的自动化纳米测量工具

Park NX20 300mm是业界大样品原子力显微镜，支持300mm×300mm全程机动化。新升级的Park NX20系统专为失效分析和质量控制实验室设计，可有效地检测整个300mm晶圆，且无需任何繁琐的样品位移。尽管扩大了支持300mm样品的机动XY工作台，但Park的创新性振动隔离技术仍然能够将系统噪声保持在低于0.5 (Å) RMS，通常是0.3 Å RMS的水平。
经检验的原子力显微镜性能和单击-原子力显微镜自动化取消了样本调整的需求，并使Park NX20的扫描过程尽可能和便于使用。通过我们的“批处理模式(Program Mode)”界面，用户可以在整个300mmx300mm区域轻松实现可靠与可重复的顺序多站点测量。NX20 300 mm从而成为需要扫描大样品的FA、QA和QC工程师的。
专为大样品晶圆检测而建

NX20 300 mm进行了全新设计，可达到大样品的佳测量。整个300mm晶圆区域可进行低噪声原子力显微镜测量分析。这开启了一个全新的自动化测量范围，让工程师可以更快捷、更简便、更地开展工作。

灵活的300mm样品吸盘

Park NX20 300mm真空吸盘支持各种尺寸、形状和类型的晶圆，让用户几乎可准确扫描任何样品。

300mm XY轴工作台

机动化的300mm XY轴工作台允许用户在300mm的全部区域内移动原子力显微镜的测量位置。

NX20 支持300mm样品台，性能已被证实

因其的易用性和自动化以及不受影响的精度，NX20已是FA、QA和QC工程师的佳选择。凭借其支持300mm电动XY轴工作台的扩大平台，NX20 300mm更上一层楼，允许用户轻松地以的精度检测更大的样品。

Park SmartScan™让测量更为简单

Park NX20配备了我们的SmartScan操作系统，使其成为市场上易于使用的原子力显微镜之一。通过直观且极为强大的界面，即便是未经培训的用户无需协助也可快速扫描大样品。这使工程师能够集中精力解决更大的问题和开发更好的解决方案。

针对广泛应用性进行优化

NX20 300mm为众多应用提供自动格式的原子力显微镜测量，为纳米级的样品提供测量和分析。具有粗糙度、高度和深度测量，缺陷检查，电气和磁故障分析，热性能表征和纳米力学性能成像等能力，该原子力显微镜是检测大样品的FA、QA和QC工程师执行各种任务的理想选择。