详细说明
PTL真空等离子系统致力于为航空航天、、汽车工业、半导体制造、纺织技术、电子微电子、生物工程、医学医疗、塑料橡胶、科研开发等行业客户提供解决方案,以帮助客户提高产品质量、提升生产效率,同时降低对环境的不良影响。
PTL的等离子清洗和等离子刻蚀设备。采用的集成化技术开发生产射频频率为40KHz、13.56MHz,以及代表等离子应用技术的2.45GHz的等离子清洗机。
PTL等离子表面处理系统的特点:
等离子清洗机清洗效果好,,应用范围广。
对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求
等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。
射频功率无极连续可调。
的特制电极,是产生均匀等离子体的。
特制电极和托盘结构,可充分利用真空舱体内部空间,使处理效率大化,同时也可样
品可得到全面有效的清洗。
特有的过载、短路和过热保护电路,可射频电源的稳定和安全。
设备整体模块化设计,安装与维护极为简单。