1200℃低真空CVD系统

一、产品简介
1200℃低真空CVD系统是由YGS-120610管式实验电炉，混气系统，真空及压力系统等组成。此系统烧结温度可达1200℃，通过滑动炉体来实现快速的升降温；配置不同的真空系统来达到理想的真空度；同时通过三路质量流量计控制不同气体。是为石墨烯生长、研发的炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。
二、主要技术参数：
炉体结构 整机采用SUS304不锈钢材质，流线型外观，断热式结构；
日本技术真空吸附成型的高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好
炉子底部装有一对滑轨，移动平稳
炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却
支撑两端安装油压缓冲器
炉盖可开启，可以实时观察加热的物料
电源 电压：AC220V 50/60Hz；功率：4KW
炉管 高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小
尺寸：Φ60*1200mm
法兰及支撑 SUS304不锈钢快速法兰，通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空
一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷
可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑
包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合
加热系统 加热元件采用合金丝0Cr27Al7Mo2，表面负荷高、
加热区长度：300mm
恒温区长度：150mm
工作温度：≤1150℃
高温度：1200℃
升温速率：10℃/min
温控系统 温度控制采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能
30段升降温程序
测温元件：N型热电偶
恒温精度：±1℃
混气系统 三路质量流量计：数字显示、气体流量自动控制
内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀
管路采用不锈钢管，接口为Φ6卡套
每路气体进气管路配有不锈钢针阀
通过控制面板上的旋钮来调节气体流量
流量规格：0~1SLM
流量精度：±1.5%
真空系统 采用双极旋片真空泵，真空度可达10Pa
真空机械压力表+电阻真空计显示
可选高真空系统及真空计，压力控制系统等
可选配件 混气系统,中、高真空系统，各种刚玉、石英坩埚，石英管，计算机控制软件，无纸记录仪，氧含量分析仪。