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3D表面形貌分析检测服务

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  技术指标


  l LED 光源波长:505 nm


  l 测量耗时:5到10 秒


  l Z 方向测量范围:250μm,分辨率:2nm


  l X/Y 方向,平台移动范50mmX50mm,(马达驱动),分辨率:0.3μm


  l 物镜:10X、20X、50X、100X


  功能及特性


  l 检测样品表面形貌


  l 测量样品的高度、深度以及起伏角度(纳米级分辨率)




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  l LED 光源波长:505 nm


  l 测量耗时:5到10 秒


  l Z 方向测量范围:250μm,分辨率:2nm


  l X/Y 方向,平台移动范50mmX50mm,(马达驱动),分辨率:0.3μm


  l 物镜:10X、20X、50X、100X


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