垂直探针可以对应高密度信号触点的待测半导体产品的细间距排列,针尖接触待测半导体产品所需的纵向位移可以通过针体本身的弹性变形来提供。悬臂探针为探针部提供适当的纵向位移,用于通过横向悬臂接触待测半导体产品,以避免探针部对待测半导体产品施加过大的针压。
探针是半导体试验所需的重要耗材。通过与试验机、分拣机、探针台配合使用,可以筛选出产品设计缺陷和制造缺陷,用于设计验证、晶圆试验和成品试验。它在确保产品产量、控制成本、指导芯片设计和工艺改进方面发挥着重要作用。
探针的要求
(1)质量问题:在使用过程中应定期进行质量检查。探针的质量差会导致测量误差增大,严重时可能会损坏实验设备。
(2)加工工艺问题:在探针的制作过程中,要探针的形状、尺寸的与稳定。
(3)使用注意事项:避免在测量过程中引入空气,勿使用有陷进、连续的探针以免扰动测量,对于使用多个探针进行测量的情况要确保探针之间的长度和间距足够。
(4)存储和保养问题:尽可能地存储环境无除尘、避光性好;探针表面不能有刮伤等损坏,使用前应清洗干净且消毒处理。