等离子体源火炬2.45GHz顺流等离子体源表明极化
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关键词 等离子体源,等离子体源表明极化,ECR同轴等离子体源,单腔ECR等离子体源
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更新时间 2025-01-26 14:25:20

详细介绍

2.45 GHz 微波等离子体源是一种用于产生等离子体的设备,它利用 2.45 GHz(千兆赫)的微波频率来产生电离气体。这种技术在各种工业和科学应用中都有重要应用。

电子器件制造:ECR等离子体源在半导体工业中,微波等离子体源可用于清洁晶圆、蚀刻硅片和沉积薄膜层。其结构小巧,可以多个等离子体源组成等离子墙,或者不同形状以使之便于不同情况的工程应用。

SAIREM微波等离子体源可以用于药材提纯的过程。微波加热可以提高药材的温度并加速化学反应,从而实现药材的快速提纯。SAIREM微波源具有稳定的性能和高功率输出,可确保药材提纯过程的性和可靠性。通过调节微波功率和加热时间,可以控制药材提纯的过程,使其达到理想的纯度要求。这使得SAIREM微波源在药材提纯领域具有广泛的应用前景。

关键词:等离子体源,等离子体源表明极化,ECR同轴等离子体源,单腔ECR等离子体源

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