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发明内容、本发明的目的是提供一种易于及时排出炉内的混合气体，且可减少热 能及消耗的直拉式单晶生长炉。实现本发明目的的技术方案是提供一种直拉式单晶生长炉，其包括 输入管、与输入管相连通的环形气体分布器；其特征在于经氩 气输入管输入的气压为0. 8xl0a0. 9xl0a,流量为 30L/min。上述技术方案中，还包括设于直拉式单晶生长炉的坩埚支持器下方和 该炉底部的排气口之间的气流导向装置；该气流导向装置为碗形，其包括 设于气流导向装置底部的中轴孔、设于所述中轴孔两侧的 一对电极孔、 以及设于所述中轴孔两侧并与该炉的排气口相对的通气孔；该炉的石墨中 轴穿过所述气流导向装置的中轴孔，该炉的 一对电极柱分别穿过所述电极 孔，该炉的排气口与气流导向装置的各通气孔相连通，气流导向装置的上 端部设于该炉的保温筒与发热体之间。蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，为了使拖板92更平稳地升降，所述立柱10和拖板92之间还设置有用于导向拖板92的升降的导向装置，所述导向装置包括设置在立柱10上的导轨101和设置在拖板92上的滑块，所述拖板92通过滑块与导轨101的配合滑配在立柱10上。为了防止润滑油脂挥发污染原料，所述升降丝杆91的外侧套装有可伸缩的防尘罩95，所述防尘罩95为波纹防尘罩。所述加料器升降驱动装置配上工装还可以吊装主炉室2内的零部件，所述加料器旋转驱动装置包括旋转电机111、旋转丝杆112、旋转套113和固定座114，所述旋转套113铰接在拖板92上，所述旋转丝杆112可旋转地支承在固定座114上，所述旋转电机111安装在固定座114上，所述旋转丝杆112的一端部和旋转电机111的输出轴相连接，所述旋转丝杆112的另一端部和旋转套113通过螺纹连接，所述加料器旋臂8铰接在拖板92上，以便通过旋转电机111驱动旋转丝杆112在旋转套113内旋进旋出，使得固定座114产生位移，并使固定座114带动加料器旋臂8旋转。具体地，为了防止润滑油脂挥发污染原料，所述旋转丝杆112的外侧套装有可伸缩的防尘罩95，所述防尘罩95为波纹防尘罩。

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DL-78型单晶炉的热场和减压工艺\1前言集成电路生产的发展一方面不断缩小元件尺寸，以提高集成度；另一方面不断扩大硅片直径以减少芯片的离故度和降低成本。相应地，作为集成电路基础材料的硅单晶生产也在不断地提高其技术质量指标和增大单晶锭的直径和长度，以满足电路的要求和降低自身的生产成本。在国外市场上，硅晶体直径大致每4～5年增长1时（25．4mm），相应地，生产投料重也由1公斤逐渐发展为3～5公斤、8～12公斤、15～刘公斤和朋～6O公厅等几个等级。在这发展中，有两个条件是相辅相成、共同进步的，这是单晶炉和拉晶工艺。

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