保定电子工业用氧化亚氮检测I第三方检测实验室
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供应商 江苏科海检验有限公司 店铺
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关键词 电子工业用氧化亚氮,检测,第三方
手机号 18952493592
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所在地 无锡市新吴区城南路220-1号4层
更新时间 2024-07-03 10:14:21

详细介绍

电子工业用氧化亚氮(Nitrous Oxide,N₂O)主要应用于半导体制造过程中的化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD)技术,尤其是在薄膜沉积中起到关键作用。

例如,当沉积氮化硅等绝缘材料时,氧化亚氮可以提供氮源。在这些工艺中,纯净度的氧化亚氮与其他前驱体气体一起,在特定温度和压力下反应,形成所需的薄膜。

电子工业对于所使用的氧化亚氮纯度有着严格的要求,需要通过的检测方法和设备来测定其纯度、水分含量、总杂质含量以及其他可能影响半导体器件性能的痕量杂质。

国家标准如GB/T 14600系列就针对电子工业用气体——氧化亚氮制定了详细的技术要求和检测规范。

除此之外,由于氧化亚氮还具备一定的温室效应,因此在电子工业使用过程中,对其生产和处置也需要遵循环保法规,确保气体的安全存储、运输和排放符合相关标准。


关键词:电子工业用氧化亚氮,检测,第三方

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