供应商 | 上海河辰物资回收利用有限公司 店铺 |
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认证 | |
报价 | 人民币 200000.00元每台 |
关键词 | 多晶硅铸锭炉回收 |
手机号 | 13788990988 |
总监 | 王先生联系时请一定说明在黄页88网看到 |
所在地 | 上海市 |
更新时间 | 2024-09-12 02:10:28 |
江苏平江多晶硅铸锭炉回收 控制柜回收联系电话
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提拉式单晶炉特点籽晶提拉及旋转部件:实现了籽晶轴较高转速时的系统平稳性;籽晶轴旋转及提拉密封均采用的磁流体密封组件,无泄露,长期使用不需充磁;精密花键轴及各驱动直流伺服电机均为进口件,确保系统具有很高的可靠性。提拉头经过严格的静平衡和动平衡测试,高速旋转下籽晶晃动小于2mm,适应半导体工艺需求。坩埚升降及旋转部件:使用超大铸铁立柱、双滚动直线导航、精密滚珠丝杠以及进口等功能件组合设计,确保坩埚系统在超重低速工况下长期平稳运行。浮动式翻板阀设在主副炉室之间,可在热场维持工艺温度的情况下,取出晶体,更换籽晶和补充加料进行连续拉晶。
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全自动控制系统采用模块化设计,维护方便,可靠性高,抗干扰性好。双摄像头实时采集晶体直径信息。液面测温确保下籽晶温度和可重复性。炉内温度或加热功率控制方式可选,保控温精度。质量流量计控制流量。真空计结合电动蝶阀实时控制炉内真空度。上称重传感器用于晶棒直径的辅助控制。伺服电机和步进电机的混合使用,即可满足转动所需的扭矩,又可实现转速的控制。质量流量计控制流量。自主产权的控制软件采用视窗平台,操作方便简洁直观。多种曲线和数据交叉分析工具提供了工艺实时监控的平台。完整的工艺设定界面使计算机可以自动完成几乎所有的工艺过程。加热电源采用绿色纵向12脉冲直流电源。比传统直流电源节能近15%。特殊的温场设计使晶体提拉速度提高20-30%。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,全文摘要为减少直拉式单晶生长炉的消耗的技术问题,本发明提供了一种直拉式单晶生长炉,其包括输入管、与输入管相连通的环形气体分布器;其特征在于经输入管输入的气压为0.8×103Pa0.9×103Pa,流量为30L/min。还包括设于坩埚支持器下方和排气口之间的碗形气流导向装置;其包括中轴孔、一对电极孔、以及与排气口相对的通气孔;石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔,所述电极柱分别穿过所述电极孔,排气口与气流导向装置的各通气孔相连通,气流导向装置的上端部设于保温筒与发热体之间。
关键词:多晶硅铸锭炉回收