GL41-16RL904L法兰过滤器

检漏的原理
采用冷发方法，将产生的多分散气溶胶引入送风管道上（过滤器的上游）。使其达到需要的气溶胶浓度。GB50591-2010《洁净室施工及验收规范》规范上要求过滤器上游的微粒浓度（≥0.3μm）大于或等于 6000pc/L。在下游，使用小采样量大于1L/min的粒子计数器扫描，对被检过滤器整个断面、缝接头以及与静压箱的密合处进行扫描。检测点应距离被测表面15mm~20mm，探头以1.5cm/s的速度进行来回扫描。

过滤器的滤材主要为玻璃纤维滤纸。国际上，HEPA 滤材的试验滤速一律为 5.3 cm/s(0.32 L/ min·cm2)。长期以来，国内滤纸厂使用 1.0 cm/s(0.06 L/cm/min)。溯源，可能源自苏联半个世纪前援助项目规定的比速 0.05L/min·cm2。只有军标曾规定试验滤速为 5.3 cm/s。试验滤速低，测得的过滤效率会多一个 9 以上。
对于带静电材料，效率会多两个 9。以前，制造 3-9-7(99.97%)的过滤器，过滤器厂要向滤纸厂家购买 5 个 9(99.9999%)的滤纸，有人解释说过滤器制造过程中因滤纸损伤而丢了一个 9。其实，那是试验滤速低而导致的效率值“虚高”。这一问题直到 2004 年才被揭露，见附件 E.2。20055 年至今，国内主流滤纸厂纷纷将试验滤速提到 5.3 cm/s，以使自己的试验数据在国际市场上具有可比性。

要测试过滤器的泄漏率，满足三个条件：
1、能将气溶胶引入系统。
引入气溶胶好的地方是风机的负压端。此时发生器产生的尘粒都能被风机吸入系统，气溶胶对环境的干扰小；气溶胶混合得比较均匀；发尘不需正压密闭环境，发尘难度低。例如：FFU进风口、洁净工作台进风口等。
有些不具备条件的地方只能在接近过滤器的位置进行发尘，此时需要克服过滤器上端的气流压力将气溶胶压入静压箱，发尘难度较高；发尘时泄漏到现场测试环境的气溶胶比较多，环境中气溶胶浓度高，容易对测试带来干扰；气溶胶混合不均匀，上游浓度波动大。除非迫不得已，我们不推荐在此处发尘。
有些设备制造厂家没有相关的测试经验，将气溶胶发尘口设置在风机的正压端，给测试带来很多不必要的麻烦。所以大家在编写设备URS的时候，一定要将此要点写入，要求设备制造厂家将发尘口设置在风机的负压端，为后期的验证创造有利条件。
2、能够检测到稳定均一的气溶胶上游浓度。
上游浓度测试口都设置在靠近过滤器上游端的地方，由软管连接到容易采样的位置，例如净化空调系统房间送风口静压箱。有些老旧的静压箱没有上游浓度测试口，则对静压箱进行改造。
3、能够在过滤器下游端对过滤器出风面进行逐点扫描。
能够进行逐点扫描的，可以测得过滤器任何位置包括边框的泄漏率，少量生产设备的过滤器位于设备内部无法进行逐点扫描，此时只能在设备出风口测试过滤器的整体泄漏率。