滚旋转清洗机等离子体表面处理仪

2023-07-17 15:39:33
二、半导体清洗 光刻胶清洗机的优点:

1.全自动控制使用方便,更长的制程执行时间

2.操作简易和灵活标准的平台安装

3.快速实现客户定制率——低发热量

4.使用简易,节省成本多功能前面板

5.、快速的服务和支持直观的液晶显示操作菜单

6.高纯石英腔体减少样品污染可定时功能,时间更

7.射频屏蔽安全可靠*紧急停止,应对各种突发情况

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三、智能控制滚筒等离子清洗机KT-G1DQX技术参数:



供电电源

AC220V(AC110V可选)

工作电流

整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)

射频电源功率

150W

射频频率

13.56MHz

频率偏移量

<0.2MHz

特性阻抗

50欧姆,手动匹配

耦合方式

电容耦合

真空度

≤50Pa

腔体材质

高纯石英

腔体容积

Φ100mmX200mm

旋转速度

20转/分钟

气体流量

0—300ml/min

过程控制

手动控制

清洗时间

手0-999秒

外形尺寸

615X390X560mm

重量

56Kg

真空室温度

小于65°C

冷却方式

强制风冷

标配

KF16真空管1米,kf16卡箍2个,不锈钢网匣1个,电源线一根,说明书一本。
标签:滚旋转清洗机半导体清洗
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