随着GodfreyHounsfield于1972年发明了用于医学成像的CT扫描仪,工业CT扫描技术被引入。这项发明为他赢得了诺贝尔医学奖,他与艾伦麦克劳德科马克分享了这一奖项。除了主要用于医学领域的目视检查(医学CT扫描)之外,CT扫描的许多进步已经允许其在工业领域的计量中使用。
工业CT检测主要用于检测高密度和大尺寸物体,应用高能量X射线探,需有更高的系统分辨力等等。目前工业CT技术的应用十分广泛;在汽车等制造领域,可以用于零部件的缺陷检测、质量控制和实效分析;在电子行业,可以用于芯片封装多余物检测、封装工艺改进和逆向设计;在航空航天领域可用于产品质量控制、装配工艺分析;总之,凡是需要观测样品内部结构的场合都能用到工业CT,是一种十分理想的无损检测手段。
工业 CT 系统通常由射线源、机械扫描系统与自动控制系统、探测器系统及数据采集系统、计算机系统、辅助系统等组成 。其中, 核心的原理是:计算机控制射线源发出射线束,数控扫描平台承载被测物体,可以在计算机控制下移动或旋转,平板探测器则负责采集扫描数据;屏蔽设施确保射线不外泄以及扫描过程的安全;后,计算机通过采集到的投影数据重建工业 CT 切片图像,并对图像中存在的缺陷进行分类。