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因此,在向单晶炉内不断充入 的同时,还用真空泵将混合气体排出炉外;在排气时,混合气体流经 炉中的加热器、坩埚支持器等处,后经过炉下端的排气口排出。上述图1的单晶炉的不足之处在于单晶炉内空间较大,尤其是坩埚 支持器下方的空间较大,导致坩埚支持器下方的混合气体不能及时排出, 热能消耗量较大;另外,现有技术中,从输入管向炉内充入时, 充气气压为1. 3x 103pa,流量为40L/min,因此其消耗量大,生产 成本较高。
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