特点
1. 全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
2. 耐高温,在工作场地洁净等级达到class1000#前提下,实验室内能有效过滤微尘而达到洁净等级class100#;
3. 叠成组合式,减少场地占用面积,。
保养方法
日保养
1. 打扫表面及内腔灰尘,保持机器干净、卫生。
2. 检查电流表电流跟正常时是否一样,如有异样,通知维修工检修。
3. 突然停电,要把加热开关关闭,防止来电时自动启动。
4. 检查风机运转是否正常,有无异常声音,如有立即关闭机器并通知维修工检修。
月保养
1. 检查通风口是否堵塞,并清理积尘。
2. 风机运转是否正常。
3. 维修工检查电流是否正常。
4. 检查温控器是否准确,如不准确,请调整温控器的静态补偿或传感器修正值。
5. 检查发热管有无损坏,线路是否老化。
6. 检查延时器是否准确,误差是否允许。
工作步骤:
1.工作前:
(1)确认电气是否正常
(2)将欲烘烤产品放置烘箱内
(3)开启电源开关并调整温控仪表适当温度与加热恒温时间。( 4)开启鼓风开关,开启加热开关,开始工作
2.无尘洁净烘箱工作中:
(1)专心操作并配戴防护器具
(2)操作人员严禁离开加工区
无尘高温箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
加热1、加热步骤在气压稳定状态下进行,否则易导致内外压强及温度差,造成外部大气冲入箱内等突发状况;2、升温过程中,加热指示灯长亮,达到设置温度后,加热自动停止,同时指示灯熄灭。待温度低于设置温度时,加热再次启动,加热指示灯亮;3、加热指示灯及温度需正常显示,若指示灯不亮需及时关闭电源并联系仪器负责人。
无尘洁净烤箱内外应经常保持清洁,长期不用应罩好塑料防尘罩,放在干燥的室内,高温状态下禁止打开箱门,加热过程中务必风机是正常运转,严禁安装在潮湿的环境下运行,操作人员熟悉无尘洁净烤箱的结构、性能、工作原理及调整方法,操作方法及保养知识。