石英玻璃的深加工是指将石英玻璃原料(管状、棒状、片状、块状)加工成用户需要的石英器件,在加方法上分为冷加工和热加工两种形式。下面石英玻璃的冷加工详细介绍。
冷加工主要包括切割、研磨、抛光三种:
1、切割:主要是采用金刚砂锯片、金刚石锯片切割石英管或石英棒。多刀切割机、线切割机,主要用于石英碇、石英块料切割。激光切割机、内圆切割机,主要用于切割导行板材。
2、研磨:平面磨盘、单轴、双轴抛光机,分粗磨:Hcp在10~20μm光洁度▽2.平面铣床、多功能铣床,细磨:Hcp在6.3μm光洁度▽6.钻床、车床、内园、外园磨床,粗磨:Hcp在6μm以下▽7.
3、抛光:多轴抛光机:Hcp<λ,即0.5μm以下。